PETフィルム等の基材に対し、ロールtoロール方式で連続成膜する装置です。

成膜プロセスによって、設備としては以下のバリエーションがございます。

対向する二極の電極ローラ間に原料ガス流してプラズマ放電を生じさせることで、主にバリア膜用SiOxを成膜します。

適用事例：ハイバリア膜（有機EL・電子ペーパ・照明・太陽電池）

各種スパッタカソードを用いて、透明導電膜・光学膜・金属膜を成膜します。

適用事例：タッチパネル・FPD・太陽電池・ウィンドウフィルム

金属箔に対しアークイオンプレーティング法によって、金属窒化物膜を両面成膜します。

適用事例：アルミ電解コンデンサ